プラズマＣＶＤ装置 高周波焼入装置ＰＲＯＤＵＣＴ
情報６２）
基板寸法： □２００ｍｍＡＬトレイ処 理 量： アルミカセット12枚
基板温度： 最高３５０℃
成膜物質： ドーブＳｉ，ＳｉＯｘ
メーカー： アルバック
納入年月： ２００８年 ８月
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情報６３）
名 称： 高周波焼入型 式： ＮＶＴ－２５０
公称出力： ５０ｋｗ
周波数 ： ２００ＫＨｚ
電 源： ９０ＫＶＡ
メーカー： 日本サーモニクス
納入年月： ２００４年
情報６４）
名 称： 竪型高周波焼入型 式： ＴＧ－3－３０/２００－１５０Ⅱ
ワーク最大径： ３００
ワーク最大長さ ： １５００
重 量： ２００ｋｇ
メーカー： 電気興業
納入年月： ２００１年